單向退火爐

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單向退火爐

所屬分類(lèi)：退火爐
點(diǎn)擊次數(shù)：
發(fā)布日期：2020/05/15
規(guī)格：
類(lèi)型：
在線詢價(jià)

詳細(xì)介紹

單向退火爐

退火目的是什么？在高溫（1750℃）加熱狀態(tài)下，通過(guò)高溫促使晶體晶格打亂后重新排列，同時(shí)清除一些晶格內(nèi)部缺陷，從而釋放內(nèi)部應(yīng)力，為后續(xù)加工奠定良好的基礎(chǔ)。晶體退火恒溫時(shí)間為36小時(shí)；每爐次退火時(shí)間為5天左右。退火后的晶棒在切割完成后，晶片翹曲低于1絲，線小于2毫米、內(nèi)應(yīng)力、崩邊現(xiàn)象及線痕度得到很大的提升；加工后的晶片成品率也達(dá)到了95%以上。成品率提高了，成本又降低了很多，同時(shí)延長(zhǎng)了晶棒的切割線的使用壽命。

單向退火爐

主要技術(shù)參數(shù)
型號(hào)	LGYL-1800 單向退火爐	LGYL-1800 雙向退火爐	LGYL-1650 單向退火爐	LGYL-1650 雙向退火爐
有效工作區(qū)尺寸（mm）	860340300	860340300	860420450	860420450
額定功率	57KVA	57KVA	57KVA	57KVA
每爐裝載量	4寸晶棒約5800mm	4寸晶棒約5800mm	4寸晶片約9000mm	4寸晶片約9000mm
額定溫度	1750℃	1750℃	1600℃	1600℃
保溫材料	氧化鋯纖維	氧化鋯纖維	氧化鋁纖維	氧化鋁纖維
移動(dòng)軌道行程速率	1040.4mm/分	1040.4mm/分	1040.4mm/分	1040.4mm/分
升降平臺(tái)行程速率	92.8mm/分	92.8mm/分	92.8mm/分	92.8mm/分
操控方式	手動(dòng)與自動(dòng)	手動(dòng)與自動(dòng)	手動(dòng)與自動(dòng)	手動(dòng)與自動(dòng)
工作電壓	電爐加熱380V 儀表工作220V	電爐加熱380V 儀表工作220V	電爐加熱380V 儀表工作220V	電爐加熱380V 儀表工作220V
運(yùn)行機(jī)構(gòu)	絲桿、軌道、電動(dòng)運(yùn)行	絲桿、軌道、電動(dòng)運(yùn)行	絲桿、軌道、電動(dòng)運(yùn)行	絲桿、軌道、電動(dòng)運(yùn)行
加熱元件	1900型硅鉬棒（U型）	1900型硅鉬棒（U型）	1800型硅鉬棒（U型）	1800型硅鉬棒（U型）
控制精度	≤±0.5℃	≤±0.5℃	≤±0.5℃	≤±0.5℃
控溫方式	100段PID智能程序控溫，可編程序控制器（PLC）控制＋觸摸屏＋工控機(jī)